内容摘要:
溅射镀膜基本原理:充(Ar)气的真空条件下,家具不锈钢镀钛哪家好,使气进行辉光放电,这时(Ar)原子电离成离子(Ar ),离子在电场力的作用下,装饰不锈钢镀钛哪家好,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。 溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。 溅射技术:溅射技术按产生等离子体的方式可分为:a. 利用直流辉光放电的二极溅射;b. 利用热丝弧光放电的三极溅射;c. 利用射频放电的射频溅射;d. 利用封闭跑道磁场控制辉光放电的磁控溅射.2 磁控溅射阴极结构:目前工业用磁控溅射装置主要是采用矩形平面磁控溅射阴极(图a),一般使用的靶材尺寸有两种规格: VT机:长×宽×厚(450.5×120×6)mm; ZCK机: 460......
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