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内容摘要:
KT—Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能,配备有电压,电流反馈,样品台旋转,样品高度调节及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。
控制方式 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源 直流溅射电源
镀膜功能 0-999秒5段......
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