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内容摘要：
派瑞林parylene真空气相沉积设备又名派瑞林镀膜机、哌拉伦镀膜机，是用于电路板pcba、线圈马达、硅橡胶制品、磁性材料、led/oled、传感器、微电子产品、电池、医疗产品、书籍画卷等产品镀膜的设备，与传统的三防喷涂设备不同，它采用了一种的化学气相沉积工艺（cvd），沉积过程主要有以下三个步骤：
1、真空环境，温度130℃条件下，固态派瑞林材料升华成气态。
2、真空......
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