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如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?可以使用惰性气体接到MFC进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。 气体质量流量控制器使用注意?1 加装过滤器使用气体必须纯净干燥,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,进口质量流量计,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。2 使用腐蚀性气体流量计通道采用的材料为:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2),进口质量流量计公司, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下,也......
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