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内容摘要：
真空箱氦检漏系统是一种用于检测真空容器内氦气泄漏的设备。它通过将氦气充入真空容器内，然后抽出样品中的氦气，根据氦气的浓度来判断容器是否存在泄漏。一般情况下，氦气浓度越低，说明容器的泄漏率越低。该系统通常由真空箱、氦气发生器、氦气检测器和数据采集系统等组成。其中，真空箱用于抽取和储存氦气，氦气发生器用于产生高浓度的氦气，氦气检测器用于检测氦气的浓度，而数据采集系统则用于采集和记录检测数据。真空箱氦检漏系统广泛应用于航空航天、电子、半导体、等领域，可以用于检测容器内的氦气泄漏，保证产品的质量和安全性。 氦质谱检漏系统是一种用于检测和定位泄漏点的仪器。它通过测量混合气体中氦的浓度变化来检测泄漏，其原理是氦气在不同温度和压力下会发生不同的浓度变化，因此可以通过测量这些变化来确定泄漏点的位置。该系统通常由气体流量计、氦质谱检测器、压力传感器和电路控制系统等组成。气体流量计用于测量混合气体的流......
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