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内容摘要:
微弧电子学的研究方向就是在电子回路中设置一个由两极和工作气体或液体组成的气固或气液固界面,通过调控两极之间的电磁场模式,以使固体表面诱发出具有“纳米微束”放电特征的微弧现象,进而实现固体表面物质以“非熔发射”机制逐层剥离,再辅助以两极之间的介质约束,达到对固体材料表面原位改性、纳米尺度逐层剥离、纳米粒径薄膜制备的目的。
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