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内容摘要：
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，其原理基于带电粒子在磁场中的偏转以及气体分子对电磁辐射的吸收。该系统的部件是氦离子源和质谱仪。当需要检查的对象内部存在微小压力时，可以使用液态惰性气体作为示踪剂（例如：氦气），通过管道进入待测对象内并被稀释到很低浓度后从密封区域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此时可以通过测量总释放量Ra来判断泄露是否发生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足够小时则认为发生了泄露[1]。 真空箱氦检漏系统是一种用于检测真空容器内氦气泄漏的设备。它通过将氦气充入真空容器内，然后抽出样品中的氦气，根据氦气的浓度来判断容器是否存在泄漏。一般情况下，氦气浓度越低，说明容器的泄漏率越低。该系统通常由真空箱、氦气发生器、氦气检测器和数据采集系统等组成。其中，真空箱用于抽取和储存氦气，氦气发生器用于产生高浓度的氦气，检漏仪厂，氦气检测器用于检测氦气的浓度，而数据采集系统则用于采......
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