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什么是气体质量流量控制器?气体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。质量流量控制器不仅具备质量流量计的作用,更主要的是,它能控制气体流量,即客户可按照需求设定流量,热式质量流量控制器,MFC会自动地将流量稳定在设定值上,即使系统工作压力有起伏或自然环境温度有转变,也不会使其偏移设定值。简易地说,质量流量控制器可以看成是一个稳流设备, 是一个可以手动式设置或与电子计算机连接自动控制的气体稳流设备。 使用气体质量流量控制器注意事项1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装......
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