内容摘要:
半导体工业:在半导体制造过程中,爱德华真空泵被广泛用于芯片制造、晶圆清洗、光刻、刻蚀、封装等各个环节。它们能够提供高洁净度、低振动和低噪音的真空环境,确保半导体器件的制造质量。高科技研究与实验室:在科学实验室中,爱德华真空泵常用于材料科学研究、表面分析(如SEM、TEM、XPS等)、粒子、核物理研究等领域。这些泵能够提供稳定的真空度,支持实验和研究的进行。 EV系列:单级旋片真空泵。EV系列包括EV40、EV70等多个型号,是机械真空泵的一种,通过旋片与壳体之间的间隙形成气体流动,促进气体向外排出。EH系列和QMB系列及MB系列:罗茨真空泵。这些系列包括EH250、QMB-250、MB800等多个型号,适用于需要高真空度和高抽气速度的应用场景。HV系列:大型罗茨真空泵。HV系列包括HV8000、HV14000、HV30000等型号,专为大型工业应用设计,提供的高真空度XDS系列:涡......
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