内容摘要:
与其他外延方法相比;它具有如下的优点:1)生长设备比较简单,;2)有较高的生长速率;3)掺杂剂选择范围广;4)晶体完整性好,二手1260供应商,外延层位错密度较衬底低;5)晶体纯度高,焦作二手1260,生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物,操作安全、简便等。LPE的不足在于,当外延层与衬底晶格常数差大于1%时,不能进行很好的生长。其次,由于分凝系数的不同,除生长很薄的外延层外,在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。 技术参数:自动进样器:样品瓶容量:可达768瓶,另加10个2ml瓶,另加10个2ml瓶进橛量:0.1-100ul(标准)高达1500ul的多次吸液功能所有自动进样器的度:一般<0.5(5-100ul进样量)恒温自动进样器:温度控制范围:从4℃-40℃可设定1℃Agilent 1200系列柱温箱温度设定范围:室温下1......
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