内容摘要:
石英管的选用:闭管扩散要用石英管,这是由于石英管能耐1250℃左右的高温,而且在1800℃以上时会变得很柔软且很粘,石英管,能做成所需要的形状。另一方面,由于石英管采用的原料是特i级水晶石,纯度高,含有害的杂质很少,透明石英管,对于扩散、配制合金等能保证质量,石英管厂家,因此闭管扩散常采用石英管。石英管的制备:根据扩散硅片直径的不同,来选择石英管的内径、壁厚等参数。 石英管的检测方法(1)检测石英管的阻值石英管可以通过万用表检测其阻值,将万用表挡位调至“蜂鸣挡”,将红黑表笔分别搭在石英管的两端,如下图所示,此时万用表的蜂鸣器应当发出响声,并且指针应当指向零。若检测时,万用表蜂鸣器无声音发出,并且指针指向无穷大时,说明石英管的内部发生损坏。(2)检测石英管的供电电压检测石英管的供电电压时,首先将万用表的量程调至“交流250V”电压挡,红黑表笔分别搭在石英管的供电端。此时观察万用表的读......
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