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企业视频展播,请点击播放视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司
涡旋真空泵的应用领域涡旋泵已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业:透析机、生物制备与药品制备。包装行业:食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。 涡旋真空泵的结构特点涡旋真空泵主要由5 个部件组成:(1)动静涡旋盘副与基座;一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错, 两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。(2)曲轴:保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。(3)密封件:保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。(4) 防自转机构:保证动......
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