内容摘要:
贴合式兆声清洗头概述 槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大,可以辐射兆声声场,晶元清洗多少钱,从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀,距离换能器越远声强越弱,同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量聚焦在清洗物表面,从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布,且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量,对清洗液浪费较大,并且喷淋式兆声换能器面积较小,河南晶元清洗,从而声能辐射面积较小,清洗速度较慢。贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的更优化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面,具有非常高的传递效率和声场均匀性,同时非常节省清洗液。 超声波清洗历史发展 技术早出现于20世纪30年代早期,当时,位于美国新泽西州的美国无线电公司的一个实验室中的技术人员尝试......
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