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内容摘要：
螺杆 XY轴xiao解析度1um/pulse 重现性小于等于5 um Z轴DA行程100mm Z轴驱动形式伺服马达系统搭配机mi螺杆 Z轴xiao解析度0.1um/pulse 以实际设计配置为准 光学影像系统 显微镜 观测/镭射加工型 CCD 1/2”color CCD 落射光源高亮度卤素光源系统（100W） 透射光源高亮度卤素光源系统（150W） Guide Light高亮度卤素光源系统（100W） 物镜切换系统4孔/电动切换式（线性） 精密物镜组5倍、10倍、20倍、50倍（后两者具备观测/镭射加工功能） Laser slit 修补尺寸 7－65寸 修补光斑Min:3um*3um OS Windows system 500G*1 RAM 2G Language简体中文/英文 Monitor 19”monitor Key boardATS-standard Mouse ATS-stan......
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