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内容摘要：
太阳能电池(solar cells，SC)：在SC制造中，一个突出的既矛盾又相互制约的问题是:要求外延层不能太厚，以免光生载流子在到达表面之前复合太多，但又不能太薄，以保证足够的光吸收.目前商业生产的SC发射极厚达250—400μm，是用硅体单晶或多晶硅制成，新疆维吾尔自治二手1260液相设备，因而材料的成本就占了很大的比重，为降低成本，在廉价的衬底如硅片、玻璃、陶瓷上液相外延一层10—50μm的高质量的硅薄。 低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中，由于新的溶剂(主要是Ag，Au及其合金)不断发现，大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上，Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值，而当生长温度500℃时，Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。由上式可以看出分......
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