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内容摘要：
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，其原理基于带电粒子在磁场中的偏转以及气体分子对电磁辐射的吸收。该系统的部件是氦离子源和质谱仪。当需要检查的对象内部存在微小压力时，氦质谱检漏设备，可以使用液态惰性气体作为示踪剂（例如：氦气），通过管道进入待测对象内并被稀释到很低浓度后从密封区域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此时可以通过测量总释放量Ra来判断泄露是否发生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足够小时则认为发生了泄露[1]。 氦检漏系统是一种用于检测和测量气体泄漏的设备，通常由一个或多个气密性容器、传感器和控制单元组成。其主要用于航空航天领域和其他需要测量的行业。主要功能包括：首先是可以确定被测物体的泄露量；其次可以实时监测并记录测试数据以备查询历史数据的方便快捷操作界面设计；是可以通过对压力信号的分析处理来确定密封容器的质量状态及生产过程中影响产量的各种因素.通过对这些参数的变化进行......
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