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内容摘要:
真空烧结炉主要用于电子器件、可控硅模块、热敏电阻、磁性材料、陶瓷金属化行业在真空环境下进行烧结、封装、退火、焊接等工艺。
真空炉技术指标:
真空室工位数:1-3位
真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa
工作温度:<1200℃
控温精度: ±1℃
充气的压强:0.3Mpa(可控)
不锈钢内胆:Φ150mm......
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