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内容摘要：
薄膜的成膜过程，是一个物质形态的转变过程，不可避免地在成膜后的膜层中会有应力存在，对于多层膜来说有不同膜料的组合，各膜层体现出的应力是有所不同的，有的是张应力、有的是压应力，还有膜层及基片的热应力。应力的存在对膜强度是有害的，轻者是膜层耐不住摩擦，重者，造成膜层的龟裂或网状细道子。对于减反膜，由于层数不多，应力一般体现不明显，（但有些硝材的镜片即便是减反膜也有应力问题存在。）而层数较多的高反膜、滤光膜，应力是一个常见的不良因素，应特别注意。 次数用完API KEY 超过次数限制 它可以制备各种单金属膜（例如铝，钛，锆，铬等），氮化物膜（TiN，ZrN，CrN，TiAlN）和碳化物膜（TiC，TiCN）以及氧化物膜（例如TiO）等）。PVD涂膜层的厚度—PVD涂膜层的厚度为微米级，且厚度较薄，一般为0.3μm5μm。装饰涂膜层的厚度一般为0.3μm1μm，因此几乎不影响原始......
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