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气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作，MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差小于0.1 MPa， 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa， 有可能在关闭状态下仍有气体通过，即电磁阀漏气。客户应用MFC时， 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态， 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内，气体质量流量控制器， 而且压差要相持续稳定。 气体质量流量控制器特点利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信......
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