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内容摘要：
在靶材和衬底之间加上一个直流高压，极板间的气体（一般为Ar2）电离，高速带电离子轰击靶材表面的溅射镀膜技术。要保持自持放电，在两极板间距为数厘米的正常溅射间距下，放电气压一般高达10帕，家具镀钛加工价格，这对溅射效率和薄膜质量都是不利的。因此，直流溅射多采用非自持放电，也就是加入热电子发射极和辅助阳极的四极溅射，可使溅射在10-1～10-2帕的低气压下进行。 自从进入21世纪，伴随着现代工业技术的发展，在大多数零件上，不论是外观，还是性能，越来越精细的零件都有了更高的要求。面对这些严格要求，传统的零件加工办法和表面处理技术已经达不到标准。经过长时间的研发，镀钛解决了此类问题。镀钛不仅能够满足人们对于零件的性、抗腐蚀性、少耗损等等性能的要求，更解决了零件材料经不住处于高温的环境中的问题，成功保持了零件基本不会变形，硬度不会降低的状态。较为成熟的 PVD 方法主要有多弧镀与磁控溅......
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