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内容摘要：
太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
技术指标：
可处理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式：卧式1—4管结构
载片量：400片／管
扩散方式：闭管扩散、软着陆全封闭
工作温度：200......
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