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内容摘要：
快固涂层-气相沉积法 气相沉积法分为物理气相沉积法(PVD)和化学气相沉积法(CVD)。PVD技术出现于20世纪70年代末，TONSAN天山TS236颗粒胶，它是用物理方法在真空条件下将材料气化成离子、原子或者分子沉积在基体表面形成一层保护膜，山东颗粒胶，其工艺过程包括蒸发、传输、反应、和沉积。PVD膜附着力强、、耐腐蚀，还具有强化性。CVD是利用气态物质通过化学反应在基体表面形成固体薄膜的技术，它本质上属于原子范畴的气态传质过程，具有以下特点：可以在常压或者真空条件下进行；可以在低温下制备涂层；涂层的结构和纯度可以控制；绕镀性好。 快固涂层发展 氮化物陶瓷起步较晚，自20世纪70年代才开始迅猛发展，几乎都是通过人工合成的，除了具有高强度、高硬度的特点，还具有优良的电学和热学性能。经过多年的研究，氮化物陶瓷的脆性、可靠度等问题都有了明显的改善。历经几十年的发展，氮化硅、氮化铝、氮化硼等氮化......
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