内容摘要:
二氧化硅膜厚仪的磁感应测量原理二氧化硅膜厚仪的磁感应测量原理主要是基于磁通量和磁阻的变化来测定二氧化硅薄膜的厚度。其原理具体如下:在测量过程中,磁感应测头置于被测样本上方。测头产生的磁场会穿透非铁磁性的二氧化硅覆层,进入其下方的铁磁基体。随着覆层厚度的变化,从测头经过覆层流入基体的磁通量也会发生变化。覆层越厚,磁通量越小,因为更多的磁场被覆层所阻挡。同时,覆层厚度的变化也会导致磁阻的变化。磁阻是磁场在材料中传播时所遇到的阻力,它与材料的性质、厚度以及磁场强度等因素有关。在二氧化硅膜厚仪中,氮化物膜厚测量仪,覆层厚度的增加会导致磁阻增大,因为更厚的覆层对磁场的传播构成更大的障碍。通过测量磁通量和磁阻的变化,磁感应膜厚仪能够准确地确定二氧化硅薄膜的厚度。这种测量方法具有非接触、和响应的特点,适用于各种薄膜厚度的测量需求。值得注意的是,磁感应测量原理在应用中需要考虑到一些影响因素......
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