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内容摘要：
由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。x-y工作台的维护与保养无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。 探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关可搭配Probe card测试适用领域：晶圆厂、研究所、高校等半自动型chuck尺寸800mm/600mmX，Y电动移动行程200mm/150mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2'x2'x2'科迪仪器科技(苏州)有限公司科迪仪器科技(苏......
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