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内容摘要：
特种气体从应用领域来看，主要包括电子气体、标准气体、食品气体、电光源气体等，其中，电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程，是下游的行业关键性化工基础材料，被誉为电子产业的“血液”。特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，特种气体公司，刻蚀工艺用到 CF4；特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域； 特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，工业特种气体厂家，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域；电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管......
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