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内容摘要：
特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，工业特种气体价格，也就是气体类别中的电子气体，特种气体生产厂家，特种气体分类：电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种基本，但数量和质量与 发达相比，尚有较大差距；特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，特种气体，刻蚀工艺用到 CF4； 特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域；特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，电子特种气体价格，......
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