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内容摘要:
特种气体分类:从应用领域划分,特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体分类:电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体,目前,电子特种气体多少钱,我国电子气体品种基本,但数量和质量与 发达相比,工业特种气体厂家,尚有较大差距;特种气体的储存注意事项:为防止高压容器跌倒、滚落、损坏、阀门泄漏等造成安全隐患,电子特种气体哪家好,存放场地需平坦,操作需谨慎、轻柔;并用链条、绳索等将其固定在靠墙等坚固位置。 特种气体在太阳能电池中的应用:非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。特种气体的储存注意事项:储存场地的道路,应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入......
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