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内容摘要：
电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料，被广泛的应用 于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀，稳定性良好和量值准确的气体，工业特种气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，故又称为气体标准物质。特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，特种气体公司，对于不同类别的气体，巢湖特种气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域； 特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量......
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