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内容摘要：
氦质谱检漏仪检漏原理及方式：氦质谱检漏仪的检漏方式，氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。逆扩散原理：逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下)，适合检大型容器或有大漏的器件，气密性测试仪价格，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。 辅助真空系统：对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。比......
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