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内容摘要:
Pinnacle+Plus拥有坚硬的花岗岩支撑结构和的Z轴移动组件,使测量微电子零件和组件时产生尽可能低的不确定性.
好的线性马达控制技术造就了运行速度快,可靠的免维护平台,满足了从无尘室到工厂车间的生产环境中,大容量,的操作。
特征:
X,Y,Z 行程 (毫米):250 x 150 x 50
X,Y,Z 光栅尺分辨率:XY - 0.05 μm, 零膨胀材料,Z - 0.01μm, 零......
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