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内容摘要：
干泵;国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。 真空泵厂家根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：(1)一般水泵，压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为'粗'真空。(2)油泵，压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为'次高'真空。(3)扩散泵，压强可达0.133Pa以下，(10-3mmHg)为'高'真空。若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵......
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