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内容摘要：
新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统做出来，采用了VMM 公司好的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备好通用可某靠。
扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm
透射照明
完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准
符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节......
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