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内容摘要：
为了提高涂层厚度的均匀性，采用行星机构或行星运动形式等旋转运动设备的真空室具有良好的涂膜均匀性、良好的涂层台阶覆盖性能、较大的承载能力，并能充分利用有用空间。这是一种常见的运动形式。排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。 为了提高泵的流量，可以在机械泵和分散泵之间增加增压器。 因此，排气系统不仅要在短时间内以低压保证的工作循环，而且还需要清除气体的蒸发源和蒸发工件的表面。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源。
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