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内容摘要：
百级无尘真空隧道炉在高端制造领域展现出的工艺优势，其Class 100洁净环境结合10^-3Pa级真空度，特别适用于半导体封装、MEMS器件等敏感元件的高温处理。温控系统采用多区段红外加热与热电偶闭环反馈，实现±0.5℃的控温精度，确保晶圆级键合工艺的翘曲率0.01mm/m。在气氛控制方面，集成气体纯化模块可使氧含量稳定在1p......
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