|
内容摘要：
企业视频展播，请点击播放视频作者：佛山市南海厚博电子技术有限公司
节气门位置传感器薄膜片电阻的制造技术是汽车电子领域的工艺之一，其关键在于实现微小电阻值变化的高线性度、低温度漂移及长期稳定性。以下是主要技术要点：一、制造流程1.基板处理：采用氧化铝陶瓷（AlO）基板，经精密抛光至Ra＜0.1μm表面粗糙度，确保薄膜均匀附着。通过超声清洗去除微米级颗粒污染物。2.薄膜沉积：-使用磁控溅射技术沉积氮化钽（TaN）或镍铬合金（NiCr）电阻层，厚度控制在100-500nm范围-通过闭环等离子体监控系统，实现±3%的膜厚均匀性-基板温度控制在200±5℃，平衡应力与结晶质量3.图形化工艺：-采用紫外光刻技术（线宽精度±2μm）形成电阻图案-干法刻蚀（RIE）实现侧壁垂直度＞85°的精密结构-端部渐变设计消除电流集聚效应二、关键控制技术1.激光修调系统：-使用532nm绿光皮秒激光，通过......
如想进一步了解更多产品内容，可以直接给厂家发送询价表单咨询:
|
|
联系方式
 电话： 0757-85411768 手机：13925432838
 传真： 0757-26262626
 地址： 佛山市南海区丹灶镇新农社区青塘大道5号
 发布IP： （IP所在地：）
|