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内容摘要：
物理气相沉积镀膜(PVD) 是我们常使用的真空室镀膜工艺。将要涂层的部件放置在真空室内。将用作涂层的固体金属材料在真空下蒸发。来自蒸发金属的原子以接近光速的速度行进，并将自身嵌入真空室中的零件表面。为了确保物体的正确区域被涂覆，在 PVD 过程中仔细定位和旋转零件。PVD 涂层不会为物体添加另一层，随着时间的推移会碎裂或破l裂（想想旧油漆）。它正在浸渍物体。
为了提高涂层厚度的均匀性，车灯反光灯注塑加工，采用行星机构或行星运动形式等旋转运动设备的真空室具有良好的涂膜均匀性、良好的涂层台阶覆盖性能、较大的承载能力，并能充分利用有用空间。这是一种常见的运动形式。排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。 为了提高泵的流量，可以在机械泵和分散泵之间增加增压器。 因此，排气系统不仅要在短时间内以低压保证的工作循环，而且还需要清除气体的蒸发源和蒸发工件的表面。蒸发系统包括电气设备和加......
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