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内容摘要：
等离子抛光加工的效率受哪些因素影响？等离子抛光加工的效率受多种因素综合影响，主要可归纳为以下几个方面：1.工艺参数：*电流密度：这是的影响因素。较高的电流密度意味着单位面积上输入的能量更大，化学反应和离子轰击更剧烈，材料去除率（MRR）显著提高。但过高的电流密度可能导致表面过热、粗糙度恶化甚至工件，需要与电压、气体流量等参数协同优化。*工作电压：电压影响等离子体鞘层的厚度和电场强度，进而影响离子的能量。较高的电压通常能提升离子的动能，增强溅射和化学蚀刻作用，提率。但同样存在过载风险。*气体类型与流量：*气体类型：惰性气体（如气）主要用于物理溅射；反应性气体（如氧气、氮气、含氟气体）则参与化学反应，形成挥发性化合物被去除。选择合适的气体组合（如气为主，添加少量反应气体）能显著提升特定材料的去除效率。气体的电离能也影响等离子体生成的难易。*气体流量：影响等离子体的稳定性、浓度和反应产......
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