内容摘要:
硅微粉的生产方法三氯氢硅法将干燥的硅粉加入合成炉中,与通入的干燥氯化氢气体在280~330℃有氯化亚铜催化剂存在下进行氯化反应,反应气体经旋风分离除去杂质,再用氯化钙冷冻盐水将气态三氯氢硅冷凝成液体,经粗馏塔蒸馏和冷凝,碳化硅微粉价格,除去高沸物和低沸物,硅微粉,再经精馏塔蒸馏和冷凝,3000 硅微粉,得到精制三氯氢硅液体。纯度达到7个“9”以上、杂质含量小于1×10-7,硼要......
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