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内容摘要：
传感器按其制造工艺集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。传感器（图3）通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底（基板）上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时，武汉传感器，同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器是利用相应材......
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