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内容摘要：
薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底（基板）上的，相应敏感材料的薄膜形成的。使用混合工艺时，光电开关，同样可将部分电路制造在此基板上。厚膜传感器是利用相应材料的浆料，葫芦岛开关，涂覆在陶瓷基片上制成的，接近开关，基片通常是Al2O3制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺（溶胶、凝胶等）生产。完成适当的预备性操作之后，已成形的元件在高温中进行烧结。 所......
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