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内容摘要:
2.5 离子束注入改性法 离子注入技术是近30年来蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性技术。其基本原理是:将几十至几百kV能量的离子束入射到材料中去,入射离子的能量引起材料表面成分、结构和性能发生变化,使其获得某些新的优异性能。在剂量为1×1014~1×1017ion/cm2的范围内,不同温度下,用能量为160 keV氮离子对FIFE表面进行注入处理。结果......
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