内容摘要:
真空度传感器,采用的硅微机械加工技术生产,以集成硅压阻力敏元件作为传感器的核心元件制成的压力变送器,由于采用硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔,及一系列无应力封装技术及精密温度补偿技术,因而具有稳定性优良、精度高的突出优点,适用于各种情况下压力的测量与控制。湖北旭升达自动化科技有限公司生产! 热电偶温度传感器一般由基准源、冷端补偿、放大单元、线性化处理、V/I转换、断偶处......
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