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内容摘要：
超精密加工技术所涉及的技术领域非常丰富。其中，关键前沿研究包括设计、运动部件、测量分析、工艺技术、主机制造技术和机床应用条件技术六方面内容。核心技术涵盖:精密超精密主轴关键结构制造技术、精密超精密直线运动部件关键结构制造技术、高分辨率运动驱动技术、机床关键零部件的加工工艺制造技术、部件抵御外部干扰的特性技术、高稳定性直线运动的结构与制造技术、多运动轴机床的嵌套结构设计技术，以及针对目标零件制造......
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