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内容摘要：
超纯水处理工艺设备对水质的要求对于光电材料生产、加工、清洗；LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、灯管显像管、微电子工业、FPC和PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路等设备都需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求
引......
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