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内容摘要：
三乙醇0胺近十年来，半导体工业界对低介电常数材料的研究日益增多，三乙醇0胺用途，材料的种类也五花八门。然而这些低介电常数材料能够在集成电路生产工艺中应用的速度却远没有人们想象的那么快。三乙醇0胺其主要低介电常数薄膜机械性质量测结果原因是许多低介电常数材料并不能满足集成电路工艺应用的要求。三乙醇0胺是不同时期半导体工业界预计低介电常数材料在集成电路工艺中应用的前景预测。 三乙醇0胺在有机物......
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