内容摘要:
无尘车间相关规范对静电防护问题,从设计到运行都有具体的规定。GB 50073--2001《洁净厂房设计规范》规定:洁净室地面层应具有导电性能并应保持长时间稳定。洁净室地面表层应采用静电耗散性材料,其表面电阻应为1.0×105~1.0×1012Ω或体积电阻率为1.0×104~1.0×1011Ω·com。洁净室地面应设有导电泄放措施和接地结构,其对地泄放电阻应为1.0×105~1.0×109Ω等等......
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