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内容摘要:
镀锌风管的排气类型分类(1)一般排气:其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体,但考虑无尘室空调负荷与过滤装置负荷,镀锌风管加工,因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注:GEX采用镀锌螺旋风管,镀锌风管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、碱排(AEX)系统流程:(2)酸碱性排气:其主要来源于化学清洗工作站,清洗晶片时所产生之挥发性气体,此气体部分含有浓烟,部分则对呼吸......
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