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内容摘要：
真空蒸镀的概念及其原理概念：?在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜(vacuum evaporating; vacuum evaporation)。 真空蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，金属蒸镀机，使之在工件或基片表面析出的过程...·化学气相蒸镀分类1) 加热型化学气相蒸镀 传统的化学气相沉积，必须藉由加热提供起始的化学反应。 i) 基材加热：阻抗加热(适......
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