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内容摘要：
①铝掩模和图形的制作。这是利用传统硅片加工中的流程进行的母型图形制作。首先在硅片上蒸发铝，电镀哪家好，并按图形制成所需要的掩模。制作完成后的硅片止的图形根据需要可能会是两种完全相反的模式。如果所要电铸的制成品是阴模方式，则掩模保护的就是阳模部分，相反，如果成型的成品是阳模方式，则掩模保护的就是阴模部分。这一工序的关键是让下道工序可以方便地对基片进行后续的加工。 工艺复杂......
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