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内容摘要：
真空蒸镀真空蒸镀，丽水蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，真空蒸镀工艺，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能等优点。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重......
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